SFC法（超臨界流体クロマトグラフィー法/Supercritical Fluid Chromatography）では移動相に超臨界流体を用います。超臨界流体はHPLC法（高速液体クロマトグラフィー法）で用いられる液体の移動相と比較して、拡散速度が数倍から数十倍速く、粘性が低いという特長を持っています。この特長によりカラムの効率が向上し、また移動相流速を高めた高速処理が可能となり、短時間分析や高い分取生産性を得ることができます。
移動相の主流体としては、臨界点（31℃、7.3MPa）が低く取り扱いが容易であること、化学的に不活性で人体に対して無害であることなどから、二酸化炭素が用いられます。これに、溶解度や極性を上げるために少量の極性有機溶媒を添加しますが、主流体が常温常圧で気体の二酸化炭素であることから、分離物を非常に容易かつ迅速に回収できます。また、有機溶媒由来の不純物混入の可能性を低減でき、より高品質な分離物が得られます。